高纯气体通常指用提纯技术能达到的等级纯度的气体。
高纯气体分为有机高纯气体和无机高纯气体。常用的高纯气体包括高纯氮、高纯氦、高纯氩、高纯氢、高纯氧、高纯二氧化碳、高纯甲烷、高纯一氧化碳、高纯乙炔等。
高纯气体技术参数
气体名称 | 化学式 | 规格(%) | 杂质(⁻⁶) |
高纯氦 | He | 99.999% | O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3 |
Ar | 99.999% | O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4 | |
H2 | 99.999% | O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1 | |
高纯氮气 | N2 | 99.999% | O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3 |
高纯二氧化碳 | CO2 | 99.999% | O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1 |